各類傳感器廣泛應(yīng)用于核電、石油石化、核電、機械裝備、機器人、智能網(wǎng)聯(lián)車、冶金、軌道交通、航空航天、電力、水利、氣象、海洋、文物、儀器儀表、環(huán)保以及智能制造等眾多行業(yè)領(lǐng)域。隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G的高速發(fā)展,傳感器是各類先進高端制造業(yè)底層技術(shù)的核心和基石。
一、什么是傳感器?
傳感器(英文名稱:transducer/sensor)是能感受到被測量的信息,并能將感受到的信息,按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求的檢測裝置。傳感器具有微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化等特點,它是實現(xiàn)自動檢測和自動控制的首要環(huán)節(jié)。傳感器由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件及轉(zhuǎn)換電路構(gòu)成。敏感元件是指傳感器中能直接感受(或響應(yīng))被測量的部分。在完成非電量到電 量的轉(zhuǎn)換過程中,并非所有的非電量都能利用現(xiàn)有手段直接轉(zhuǎn)換成電量,往往需 要先將其變換為另一種易于變成電量的非電量,然后轉(zhuǎn)換成電量。例如,傳感器 中各種類型的彈性元件,常被稱為彈性敏感元件。轉(zhuǎn)換元件是指能將感受到的非電量直接轉(zhuǎn)換成電量的器件或元件。例如,光電池 將光的變換量轉(zhuǎn)換為電動勢,應(yīng)變片將應(yīng)變轉(zhuǎn)換為電阻等。轉(zhuǎn)換電路是指將無源型傳感器輸出的電參數(shù)量轉(zhuǎn)換成電量。常用的轉(zhuǎn)換電路有電 橋、放大器、振蕩器、阻抗變換器、脈沖調(diào)寬電路等,它們將電阻、電容、電感 等電參數(shù)轉(zhuǎn)換成電壓、電流或頻率等電量。
二、傳感器有哪些分類?
1、按用途
壓力敏和力敏傳感器、位置傳感器、液位傳感器、能耗傳感器、速度傳感器、加速度傳感器、射線輻射傳感器、熱敏傳感器。
2、按原理
振動傳感器、濕敏傳感器、磁敏傳感器、氣敏傳感器、真空度傳感器、生物傳感器等。
3、按輸出信號
模擬傳感器:將被測量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號。數(shù)字傳感器:將被測量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(包括直接和間接轉(zhuǎn)換)。膺數(shù)字傳感器:將被測量的信號量轉(zhuǎn)換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉(zhuǎn)換)。開關(guān)傳感器:當(dāng)一個被測量的信號達到某個特定的閾值時,傳感器相應(yīng)地輸出一個設(shè)定的低電平或高電平信號。
4、按其制造
工藝集成傳感器是用標準的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上。厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進行熱處理,使厚膜成形。陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生產(chǎn)。完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,已成形的元件在高溫中進行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點和不足。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
5、按測量目
物理型傳感器是利用被測量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的?;瘜W(xué)型傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的。生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,用以檢測與識別生物體內(nèi)化學(xué)成分的傳感器。6、按其構(gòu)成基本型傳感器:是一種最基本的單個變換裝置。組合型傳感器:是由不同單個變換裝置組合而構(gòu)成的傳感器。應(yīng)用型傳感器:是基本型傳感器或組合型傳感器與其他機構(gòu)組合而構(gòu)成的傳感器。
7、按作用形式
按作用形式可分為主動型和被動型傳感器。主動型傳感器又有作用型和反作用型,此種傳感器對被測對象能發(fā)出一定探測信號,能檢測探測信號在被測對象中所產(chǎn)生的變化,或者由探測信號在被測對象中產(chǎn)生某種效應(yīng)而形成信號。檢測探測信號變化方式的稱為作用型,檢測產(chǎn)生響應(yīng)而形成信號方式的稱為反作用型。雷達與無線電頻率范圍探測器是作用型實例,而光聲效應(yīng)分析裝置與激光分析器是反作用型實例。被動型傳感器只是接收被測對象本身產(chǎn)生的信號,如紅外輻射溫度計、紅外攝像裝置等。
三、常見的傳感器類型有哪些?
壓力傳感器、水分傳感器、氣體傳感器、電阻應(yīng)變式傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器、壓電式傳感器、壓阻式傳感器、MEMS 傳感器、應(yīng)變式力傳感器、六維力傳感器、觸覺傳感器、流量傳感器等。
四、傳感器重要的十大性能指標
1、帶寬
一般指傳感器輸出響應(yīng)下降到其最大相應(yīng)的根號二分之一或功率一半的信號范圍,通俗點說就是傳感器能夠采樣的范圍,傳感器對外界信號的響應(yīng)范圍的指標是其帶寬,主要描述傳感器的動態(tài)特性(能否跟得上被測量的變化頻率),而有效帶寬指傳感器實際能保證測量精度的帶寬,這里的帶寬實際上是從頻域去描述的。再換句話說,其實這東西跟頻率響應(yīng)是一回事,也就是傳感器對外部信號的反應(yīng)能力!從傳遞函數(shù)角度來看,大部分傳感器都可以簡化為一個一階或二階環(huán)節(jié)。
2、靈敏度
靈敏度是指穩(wěn)態(tài)運行下傳感器的輸出變化△y與輸入變化△x之比。一般在傳感器的線性范圍內(nèi),靈敏度越高通常意味著傳感器信噪比越高,對應(yīng)于被測變化的輸出信號值越大,更有利于信號處理。但需要注意的是,傳感器的靈敏度高,容易混入與測量無關(guān)的外界噪聲,然后被放大系統(tǒng)放大,影響測量精度。因此,要求傳感器本身應(yīng)該具有高信噪比,以最小化從外部引入的干擾信號。
3、零點漂移
傳感器輸入值為零,其輸出值有一定程度的變化,即零點漂移。溫漂是引起零漂最常見的因素。引起零漂的原因:敏感元件的老化、應(yīng)力、電荷泄露、溫度變化等等。
4、分辨率
分辨率是指傳感器在指定測量范圍內(nèi)可以檢測到的微小變化,是傳感器能檢測到的待測量變化的最小值,例如使用米尺只能測毫米級別的距離,而使用千分尺則可以檢測1/‰毫米級別。分辨率是有單位的絕對值。例如,如果溫度傳感器的分辨率為0.1攝氏度,滿量程為500攝氏度,則其分辨率為0.1/500=0.02%。
5、精度
準確度是指真值附近正負三倍標準差的值與量程比值,是指測量值與真值的差值。如果測量的目的是定性分析,可以選擇重復(fù)精度高的傳感器,但不應(yīng)選擇絕對值精度高的傳感器。如果是定量分析必須得到的測量值,就要選擇精度能滿足要求的傳感器。(1)引起系統(tǒng)誤差的原因:測量原理及算法固有誤差、標定不準確、環(huán)境溫度影響、材料缺陷等等;(2)引起隨機誤差的原因:傳動間隙、元器件老化等等。
6、重復(fù)性
傳感器的重復(fù)性是指,在相同條件下同方向重復(fù)多次測量時,測量結(jié)果之間的差異。又稱重復(fù)誤差、再現(xiàn)誤差等。重復(fù)性誤差越小,重復(fù)性越好,傳感器的穩(wěn)定性越好。
7.頻率響應(yīng)特性
傳感器的頻率響應(yīng)特性決定了被測量的頻率范圍,它必須在允許的頻率范圍內(nèi)保持不失真。其實傳感器的響應(yīng)總是有一定的延遲,希望延遲時間越短越好。頻率響應(yīng)高的傳感器可測信號頻率范圍寬,而由于結(jié)構(gòu)特性的影響,機械系統(tǒng)的慣性大,所以頻響低的傳感器可測信號頻率較低。
8、遲滯
簡單來說就是傳感器正反向時輸入輸出的映射曲線不一致,該現(xiàn)象即遲滯。產(chǎn)生遲滯的原因有:傳感器敏感元件的材料特性、機械結(jié)構(gòu)特性(摩擦、傳動間隙等)等等。
9、線性范圍
傳感器的線性范圍是指輸出與輸入成比例的范圍。理論上,在這個范圍內(nèi),靈敏度保持不變,傳感器的線性范圍越寬,其測量范圍就越大。但實際上,任何傳感器都不可能是絕對線性的,它的線性是相對的。當(dāng)要求的測量精度比較低時,在一定范圍內(nèi),非線性誤差小的傳感器可以視為線性,便于測量。
10、采樣頻率
采樣頻率是指傳感器在單位時間內(nèi)能夠采樣的測量結(jié)果的數(shù)量,反映了傳感器的快速響應(yīng)能力。采樣頻率是測量數(shù)據(jù)快速變化時必須充分考慮的技術(shù)指標。隨著采樣頻率的不同,傳感器的精度指標也隨之變化。一般來說,采樣頻率越高,測量精度越低。但是,傳感器給出的精度往往是在采樣速度下甚至是靜態(tài)條件下得到的測量結(jié)果。因此,在選擇傳感器時,必須同時考慮精度和速度。
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