超純水檢測(cè)
概述
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
2、化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
3、單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
4、高壓變電器的清洗等。
檢測(cè)項(xiàng)目
電阻率測(cè)試、蒸發(fā)后殘留物測(cè)試、細(xì)菌測(cè)試、液態(tài)塵粒測(cè)試(LPC test)、硅油總量測(cè)試、離子測(cè)試、金屬離子測(cè)試、溶解氧測(cè)試等。
檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
ASTM D4453-2011：超純水試樣處理規(guī)程
ASTM D5127-2007：電子和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水的指南
ASTM D7980-2015：對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)中超純水瞬時(shí)樣品陰離子進(jìn)行離子色譜分析的指南
JIS K0550-1994：超純水中細(xì)菌數(shù)的試驗(yàn)方法
JIS K0551-1994：超純水中總有機(jī)炭(TOC)的試驗(yàn)方法
JIS K0552-1994：超純水中電導(dǎo)率的試驗(yàn)方法
JIS K0553-2002：超純水中金屬元素的試驗(yàn)方法
JIS K0554-1995：超純水中微粒子測(cè)定方法
JIS K0555-1995：超純水中二氧化硅的試驗(yàn)方法
JIS K0556-1995：超純水中陰離子的試驗(yàn)方法