掃描電鏡與能譜分析
掃描電鏡與能譜分析
掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀性貌觀掃描電子顯微鏡察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點是
①有較高的放大倍數(shù),20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào);
②有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu);③試樣制備簡單。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置(EDS),這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析,因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。
應(yīng)用領(lǐng)域:微觀形貌觀察、半定量成分分析。
參考標準:GB/T 17359等。
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